Com tots sabem, només hi ha un fabricant al món, pot produir litografia EUV, és l'ASML dels Països Baixos.
I la raó per la qual és l'única del món, això és perquè ASML serà un munt de fabricants clau agrupats, com ara l'empresa d'òptica alemanya Zeiss (Zeiss), i després els Estats Units Cymer, i després l'alemany Tom Fast Group (TRUMPF). ) etcètera.
ASML ha vinculat aquests fabricants al seu carro a través d'inversió, adquisició, participació, establiment de centres d'investigació, etc., i aquests fabricants, probablement els únics fabricants del món que poden produir aquests productes, de manera que, finalment, només ASML és capaç de produir litografia EUV. en el món.
No obstant això, recentment, una cadena de subministrament clau d'ASML, va córrer a Shenzhen, Xina per construir una fàbrica, la seva filial de Shenzhen es va instal·lar al parc de demostració industrial chino-alemany (Europa) de Baoan.
Aquest fabricant és el Tom Fast Group d'Alemanya (TRUMPF), és la litografia EUV d'ASML, l'únic proveïdor de fonts làser del món.
Els productes TRUMPF en la litografia EUV, quina importància? Primer, deixeu-me explicar el principi de la litografia EUV, ho entendreu.
El principi de la litografia EUV, per dir-ho simplement, es centra en tres sistemes principals, el sistema de font de llum UV EUV, el sistema de lents objectius i el sistema de taula.
El procés específic és utilitzar el làser per excitar una longitud d'ona de 13,5 nm de llum ultraviolada extrema, i després de la correcció per formar un feix de llum controlat, i després aquest feix de llum es projecta a la taula de fotomàscara i després es projecta a través de l'objectiu. mirall a la taula d'exposició i, finalment, va gravar el circuit a l'hòstia de silici recoberta de fotoresist.
Com s'obté un dels sistemes de font de llum UV EUV és bombardejant una gota de metall d'estany (Sn) amb un làser de CO2 de 30 kW de potència, evaporant-la en un plasma i, finalment, obtenint la llum EUV de 13,5 nm de longitud d'ona.
Aquest làser de CO2 de 30 kW és proporcionat per TRUMPF, l'únic d'aquest tipus al món.
No subestimeu aquest làser de CO2, té 457.329 peces, la longitud del cable del sistema és de fins a 7.322 metres i el pes és de 17.090 kg, que és un dels components bàsics més importants de la litografia EUV.
Ara TRUMPF va córrer a la Xina per construir una fàbrica, la intenció és clara, és a dir, optimista pel que fa al mercat làser xinès i, encara més, una visió a llarg termini, optimista sobre el mercat de la litografia xinès, el futur pot cooperar amb la Xina per construir litografia EUV .
De fet, ja hi ha més d'una cadena de subministrament ASML que va a la Xina per construir una fàbrica, abans que hi hagi KMWE i altres fabricants, també a la Xina per construir una fàbrica.
D'acord amb la tendència actual, podem esperar amb optimisme que potser no passarà gaire abans que la tecnologia de litografia de la Xina sigui un gran pas endavant, i fins i tot el volum de sortida de litografia EUV, també es pot esperar, creus?
